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[发明专利]加热基板-CN202211668833.6在审
发明人：尹士畅;谭欢欢;单丹丹;王春雨;肖佳音 -专利权人：为麦智能科技（北京）有限公司
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H05B3/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种加热基板，该加热基板包括基部、第一支部和第二支部，基部在中间具有包含加热层的第一区域并且围绕第一区域具有包含电力层的第二区域，而第一支部和第二支部分别在中间具有包含加热层的第三区域和第五区域，并且围绕第三区域和第五区域具有包含电力层的第四区域和第六区域，这样能够在具有较大面积的基板对人体的第一部位进行加热的同时，利用从其一侧朝向不同方向延伸的两个支部形成与基板成一定角度的加热部来对与具有另外角度的第二部位进行加热，这样能够使得基部和两个支部贴合具有不同角度的人体部位，并且第一支部和第二支部也形成有第三角度，从而可以实现更复杂形状的加热部，实现更好的加热效果。
加热

[发明专利]基板加热装置和基板加热方法-CN201510114199.5有效
发明人：陆小勇;许晓伟;左岳平;田宏伟;张宇;龙春平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板加热装置和一种基板加热方法，上述装置包括加热层，用于传导热量；传输管，用于向扩散层传输气体；扩散层，设置在加热层之上，用于使气体均匀分布于导出层和加热层之间；导出层，设置在扩散层之上，其中均匀地设置有多个通孔，多个通孔用于将扩散层中的气体导出至待加热基板下方，以使待加热基板均匀受热。通过本发明的技术方案，可以均匀且全面地对待加热基板进行加热，使得待加热基板上表面温度更加均匀，以使对待加热基板进行的蚀刻、沉积和/或溅射等工艺得到更好的效果。
加热装置方法

[发明专利]基板加热装置和基板加热方法-CN201510486773.X有效
发明人：水田诚人;高柳康治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-08-10 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板加热装置，包括：多个加热模块，其包括对基板进行处理的处理容器；和与各加热模块共用的排气路径，该基板加热装置高精度控制各加热模块中的排气量。基板加热装置包括：多个加热模块，各自包括用于对上述处理容器内的处理氛围取入清洁用的气体的供气口和对处理氛围进行排气的排气口；与各个排气口连接的单独排气路径；与各单独排气路径的下游端共同连接的共用排气路径
加热装置方法

[发明专利]基板加热装置及基板加热方法-CN201610945544.4有效
发明人：加藤茂;山谷谦一;升芳明 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板加热装置及基板加热方法，缩短基板的加热所需要的工作时间。实施方式的基板加热装置包含：减压部，能够将涂布有用来形成聚酰亚胺的溶液的基板减压；第一加热部，能够以第一温度加热所述基板；以及第二加热部，能够以比所述第一温度更高的第二温度加热所述基板；且所述第二加热部与所述第一加热部分别独立地设置
加热装置方法

[发明专利]基板加热装置以及基板加热方法-CN201710573158.1有效
发明人：加藤茂;佐保田勉;山谷谦一;升芳明 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；加热部，配置在所述基板的一侧，并且能够加热所述基板；红外线加热器，配置在所述基板的另一侧，并且通过红外线能够加热所述基板；反射面，配置在所述加热部与所述红外线加热器之间，并且反射朝向所述加热部的所述红外线。
加热装置以及方法

[发明专利]基板加热装置和基板加热方法-CN200580023775.X有效
发明人：西孝典;北野高广;奥村胜弥 -专利权人：东京毅力科创株式会社;株式会社奥科泰克
申请日： 2005-07-13 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种基板加热装置用于在曝光后和显影前的时期内加热涂覆有化学增强型抗蚀剂的基板，该装置具有：安装台，用于在抗蚀剂涂覆薄膜朝上的情况下基本水平地安装基板；流体供给机构，用于向基板供给甘油；以及加热机构，用于在甘油与抗蚀剂涂覆薄膜接触的状态下加热安装台上的基板，其中，在甘油与抗蚀剂涂覆薄膜接触的状态下对安装台上的基板进行加热。
加热装置方法

[发明专利]基板加热装置、基板处理系统以及基板加热方法-CN201811634559.4在审
发明人：加藤茂;细田浩 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明使向基板涂布的涂布物稳定地固化。实施方式的基板加热装置包括：腔室，在内部形成有能够收容基板的收容空间；减压部，能够对所述收容空间的气氛进行减压；基板加热部，配置在所述基板的一面侧以及另一面侧的至少一方，并且能够加热所述基板；压力检测部，能够检测所述收容空间的压力；控制部，基于所述压力检测部的检测结果而控制所述基板加热部。
加热装置处理系统以及方法

[发明专利]基板加热装置、基板处理系统及基板加热方法-CN201810165050.3有效
发明人：加藤茂;佐保田勉;山谷谦一;升芳明 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的基板加热装置包括：腔室，在内部形成有能够容纳涂敷了溶液的基板的容纳空间；减压部，能够将所述容纳空间的气氛减压；基板加热部，配置在所述基板的一侧及另一侧中的至少一方，并且能够加热所述基板；和腔室加热部，能够加热所述腔室的内表面的至少一部分。
加热装置处理系统方法

[发明专利]基板加热单元和具有基板加热单元的基板处理装置-CN201910304497.9有效
发明人：金贤秀 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思涉及基板加热单元。所述基板加热单元包括：卡盘台，其具有由基部和侧壁限定的内部空间；加热单元，其设置在所述卡盘台的所述内部空间中；以及石英窗，其配置为覆盖所述卡盘台的所述内部空间并具有上表面，所述基板放置在所述上表面上。所述加热单元具有加热板，其，其具有在其中心带有开口的盘形；以及加热模块，其安装在所述加热板上的彼此分开的各自加热区中，每个所述加热模块具有印刷电路板，所述印刷电路板上安装有加热光源，所述加热光源发出用于加热的光
加热单元具有处理装置

[发明专利]基板加热装置和基板加热方法以及基板处理系统-CN201110032742.9无效
发明人：大久保智也;杉山正树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-01-27 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基板加热装置和基板加热方法以及基板处理系统。该基板加热装置不用提高装置成本就能够确保基板的面内温度的均匀性和温度稳定性，并且能够高速地升温。该基板处理系统包括：能够在减压状态下保持的容器(81)；在上面具有多个基板支承销(86a)，以与上面之间设置有间隙的状态载置基板(G)的基板载置台(86)；通过基板载置台(86)对基板进行加热的加热器(87)；调整容器(81)内压力的压力调整机构(113、114、123、124)；通过控制加热器(87)的输出，控制基板载置台(86)温度的温度控制部(103)；和通过控制压力调整机构，控制容器(80)内压力的压力控制部(132)，其中，压力控制部(103)在载置台(86)载置有基板(G)时，将容器(81)内的气体压力控制为能够通过气体进行热传递的第一压力，在基板(G)的温度达到规定的温度时，将容器(81)内的气体压力控制为实质上不发生通过气体进行热传递的压力
加热装置方法以及处理系统

[发明专利]基板加热装置-CN201810359949.9在审
发明人：大谷乡;大塚幸信 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。
加热板晶圆基板加热装置搬送机构加热装置移动机构冷却板水冷板耐热性带驱动机构加热处理连续配置驱动系统辐射热遮蔽加热

[发明专利]基板加热装置-CN201710627972.7在审
发明人：刘开欣;何恭育 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种基板加热装置，基板加热装置包括炉体、设于所述炉体内的基板、设于所述炉体上的进气管道和排气管道以及与所述进气管道连通的温控系统，所述温控系统用于调节从所述进气管道进入所述炉体1内的气体的温度本发明提出的基板加热装置包括设于所述炉体上且与所述进气管道连通的温控系统，通过所述温控系统可以调节从所述进气管道进入所述炉体内的气体的温度，从而使得基板的升温曲线稳定可控，提升烘烤效果，解决了成膜不均的难题
加热装置

[发明专利]基板加热装置-CN202011143931.9在审
发明人：久田耕祐;大谷响 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板加热装置。提高在基板加热装置加热了基板时形成在基板上的膜的膜厚的均匀性。基板加热装置用于在壳体内加热基板，在所述壳体内并列设置有载置基板并对其进行加热的加热板和载置基板并对其进行冷却的冷却板，该基板加热装置具有：气体喷嘴，其沿着所述并列设置的方向，在所述加热板的上方朝向所述壳体的靠所述加热板侧的一端部形成单向气流；以及闸，其能够在所述壳体内上下移动，并对至少所述加热板和所述冷却板之间的所述基板的输送空间进行分隔，所述气体喷嘴的喷出部配置在所述闸和所述加热板之间。
加热装置

[发明专利]基板加热装置-CN201610679389.6有效
发明人：金基哲 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2016-08-17 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的基板加热装置可包括：加热板，其加热基板；引导部，其具有贯通所述加热板的贯通孔结构；顶杆，其通过所述引导部上升及下降，支撑向所述加热板上移送的所述基板；以及热损失防止部件，其防止从所述加热板向所述基板传递的热发生损失，在所述加热板上包围所述引导部。本发明的基板加热装置能够通过防止热损失以确保加热基板期间的温度均匀性。
加热装置

[实用新型]基板加热装置-CN201820569912.4有效
发明人：大谷乡;大塚幸信 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及基板加热装置，提供一种在将晶圆载置于加热板来进行加热的加热装置中抑制加热板的热对设置于加热装置的驱动系统的影响的技术。构成为由晶圆搬送机构将被加热板加热处理过的晶圆搬送到冷却板，在从加热板的下方侧起到冷却板的下方侧为止连续配置的水冷板的下方侧设置有构成晶圆搬送机构的例如包括带驱动机构的移动机构。因此，即使加热板的温度为600℃的高温，由于加热板的辐射热被水冷板遮蔽，因此对于移动机构的耐热性变大。
加热板晶圆基板加热装置搬送机构加热装置移动机构冷却板水冷板耐热性本实用新型带驱动机构加热处理连续配置驱动系统辐射热遮蔽加热

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